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Cathode Body
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Cathode Body


材質：紅銅或無氧銅
尺寸：200x950x65H；依指定製作
特性： sputter 濺鍍設備
　　　高精準尺寸
　　　高平整度
　　　表面粗度可達0.5μm
　　　拋光處理
螺絲及間隔環
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螺絲及間隔環


材質：PEEK、vespel、PBI、PAI
尺寸：指定製作，最小外徑可達0.8m/m
特性：耐電漿腐蝕性
　　　高強度，耐磨耗性
　　　絕緣性佳
　　　高低工作溫度用途